个人简介

张卫，男，1968年5月出生，上海市优秀学科带头人，复旦大学微电子学院院长，复旦大学校学术委员会副主任，教育部长江特聘教授，国务院特殊津贴获得者。

张教授担任“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大专项(02专项)总体专家组技术副总师，工信部通信科学技术委员会委员，教育部科技委信息学部委员，长三角集成电路设计与制造协同创新中心常务副主任，《半导体学报》副主编，上海证券交易所科创板专家咨询委员会委员。

长期从事集成电路工艺、半导体新器件和半导体材料的研究，自1997年以来承担国家863、国家自然科学基金、国家重大科技专项、上海市重大重点项目等20多项。先后在Science，Nature Nanotechnology, Nature Materials, Applied Physics Letters，IEEE Electron Device Letters，IEEE Tran. on Electron Devices, Journal of Applied Physics, IEDM等国际学术期刊和会议上发表论文200多篇，申请专利180多项，其中美国专利39项

研究领域

1.集成电路工艺；

2.半导体器件；

3.半导体材料。