个人简介

1977年考入浙大电机系，1982年1月获学士学位；1984年、1987年在浙大光仪系获硕士、博士学位。1988年1月进入浙大材料系硅材料国家重点实验室工作，1990-1992年美国MIT访问学者，1994年晋升教授。2005年入选首批浙大求是特聘教授，2008年评为浙江省特级专家。曾任浙大硅材料国家重点实验主任、材料与化工学院副院长、材料科学与工程学系主任。现任浙大材料科学与工程学院学术委员会主任。2019年当选为中国科学院院士。开辟了浙大半导体薄膜研究方向，首创超高真空CVD技术并在全国推广应用；1986年开创国内半导体ZnO薄膜掺杂研究先河，建立了p型二元共掺原理与技术，国际首次由MOCVD法制成ZnO-LED原型器件并实现室温电致发光；发展了n型氧化锌高导电掺杂技术，突破无铟透明导电薄膜难题，实现了产业应用。此外，在低维ZnO材料可控制备，紫外探测、传感器件以及新型ZnO薄膜晶体管等方面也作出创新工作。他是国际光电氧化锌领域的主要学术带头人，为我国无机光电材料发展作出了突出贡献。

研究领域

半导体薄膜制备；物性调控与光电应用研究